風防ボックス
ディップコーター用除振台
液循環ユニット
塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。
処理タンク： ４面オーバーフロー方式（サブタンク付） タンクサイズ・フィルター精度・循環方式（Air, Chemical）・流量などお客様の仕様に合わせてカスタマイズ致します。
粘度計（比重計）による濃度管理、熱交換器による液温管理も追加可能です。
ディップコーティング用タンク（液槽）
基板サイズに合わせたタンクをオーダーメードでお作りします。材質：SUS・ガラス・テフロン・テフロンコート・パイレックス・石英 など
前処理装置
