UAX-0405AS / UMX-0405AS

研究用ディップコーティング用除振台。当社装置サイズにあわせた仕様です。

超低速での動作時に周りの振動を除き、より平滑な厚さの製膜に必須です。

ディップコーター用除振台

【特長】

  • 当社ディップコーターの除振に最適な周波数帯を採用しています。
  • 搭載盤がステンレスのため、クリーンルームへの導入も可能です。
  • 3次元空気ばねを採用し、大型除振台並の性能を有します。
固有振動数 2.2Hz
固有振動数 2.2Hz
固有振動数 3.8Hz
固有振動数 3.8Hz
固有振動数 3.6Hz
固有振動数 3.6Hz

形式 UAX-0405AS UMX-0405AS
固有振動数 垂直(Vertical)1.5~2.5Hz  水平(Horizontal)3.0~3.8Hz
除振方式 全方位対応三次元空気ばね
水平維持方式 メカニカルバルブによる自動式(供給空気圧0.25~0.5MPa) 手押しポンプによる手動式
搭載盤 ステンレス仕上げ 
搭載可能重量 100kg
ステージサイズ W540 × D440 W540 × D440
全体寸法 ※1 W540 × D459 × H57(mm)  W540 × D459 × H57(mm)
製品重量 23kg
標準付属品 φ6mm×5mチューブ・ワンタッチ継ぎ手 PT1/4オネジ ハンドポンプ・虫回しドライバー
オプション 集中排気機構、コンプレッサー  無し

※1 エアー供給口を含む


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