ウェットコーティングに必須である、コート前の濡れ性改質、表面洗浄装置として、UVオゾン洗浄表面改質装置(UVオゾンクリーナー、UVオゾン洗浄表面改質装置などと呼ばれています)とプラズマ洗浄表面改質装置のレンタルをご準備いたしました。

紫外線洗浄表面改質装置(UVオゾンクリーナー)

UVオゾン洗浄表面改質装置ASM1101N
UVオゾン洗浄表面改質装置 ASM1101N

照射エリア 5cm × 5cmの小型タイプから30cm × 35cmの大型タイプまでラインアップがございます。

排気されるオゾンの分解装置のご用意もございます。


エキシマ照射装置

エキシマ照射装置
エキシマ照射装置 ASM86 Excimer
172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。

【特徴】

  • スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。
  • オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。

プラズマ表面改質装置

プラズマ改質装置 PS150
プラズマ改質装置 PS150

型式:PS150

装置サイズ

<本体> W530×D400×H150(㎜)約15㎏ 
<ポンプ>W180×D334×H156(㎜)約9.5㎏

真空到達時間:30秒以内

チャンバーサイズ
W150×D150×H35(㎜)

定格電圧:AC100V


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