ディップコーター用除振台
UAX-0405AS / UMX-0405AS

【特長】
- 当社ディップコーターの除振に最適な周波数帯を採用しています。
- 搭載盤がステンレスのため、クリーンルームへの導入も可能です。
- 3次元空気ばねを採用し、大型除振台並の性能を有します。

形式 | UAX-0405AS / UMX-0405AS |
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固有振動数 | 垂直(Vertical)1.5~2.5Hz 水平(Horizontal)3.0~3.8Hz |
振方式 | 全方位対応三次元空気ばね |
水平維持方式 | UAX:メカニカルバルブによる自動式(供給空気圧0.25~0.5MPa) UMX:手押しポンプによる手動式 |
搭載盤 | ステンレス仕上げ |
搭載可能重量(kg) | 100 |
全体寸法 | UAX:W540×D440×H57 |
UMX:W540×D460×H57 | |
製品重量(kg) | 23 |
標準付属品 | UAX:6mm×5mチューブ・ワンタッチ継ぎ手 PT1/4オネジ UMX:ハンドポンプ・虫回しドライバー |
オプション | UAX:集中排気機構 |