ディップコーター用除振台

UAX-0405AS / UMX-0405AS

ディップコーター用除振台

【特長】

  • 当社ディップコーターの除振に最適な周波数帯を採用しています。
  • 搭載盤がステンレスのため、クリーンルームへの導入も可能です。
  • 3次元空気ばねを採用し、大型除振台並の性能を有します。
ディップコーター用除振台 グラフ
形式 UAX-0405AS / UMX-0405AS
固有振動数 垂直(Vertical)1.5~2.5Hz  水平(Horizontal)3.0~3.8Hz
振方式 全方位対応三次元空気ばね
水平維持方式 UAX:メカニカルバルブによる自動式(供給空気圧0.25~0.5MPa)
UMX:手押しポンプによる手動式
搭載盤 ステンレス仕上げ
搭載可能重量(kg) 100
全体寸法 UAX:W540×D440×H57
UMX:W540×D460×H57
製品重量(kg) 23
標準付属品 UAX:6mm×5mチューブ・ワンタッチ継ぎ手 PT1/4オネジ
UMX:ハンドポンプ・虫回しドライバー
オプション UAX:集中排気機構