ディップコーター用除振台
UAX-0405AS / UMX-0405AS
【特長】
- 当社ディップコーターの除振に最適な周波数帯を採用しています。
- 搭載盤がステンレスのため、クリーンルームへの導入も可能です。
- ３次元空気ばねを採用し、大型除振台並の性能を有します。
| 形式 | UAX-0405AS / UMX-0405AS |
|---|---|
| 固有振動数 | 垂直（Vertical）1.5～2.5Hz 水平（Horizontal）3.0～3.8Hz |
| 振方式 | 全方位対応三次元空気ばね |
| 水平維持方式 | UAX：メカニカルバルブによる自動式（供給空気圧0.25～0.5MPa） UMX：手押しポンプによる手動式 |
| 搭載盤 | ステンレス仕上げ |
| 搭載可能重量（kg） | 100 |
| 全体寸法 | UAX：W540×D440×H57 |
| UMX：W540×D460×H57 | |
| 製品重量（kg） | 23 |
| 標準付属品 | UAX：6mm×5mチューブ・ワンタッチ継ぎ手 PT1/4オネジ UMX：ハンドポンプ・虫回しドライバー |
| オプション | UAX：集中排気機構 |