評価装置(膜厚計)

ハードコーティングなどの膜厚測定用途には、反射分光膜厚計をお勧めします。

評価装置(膜厚計)

【仕組み】
サンプルに光を照射すると膜厚に依存した特有のスペクトルを示します。膜表面で反射した光と膜内を通過し基板表面で反射した光が、互いに干渉を起こします。光の位相が一致すると強度が強まり、ずれると弱まります。反射分光法は、このスペクトルを解析することにより膜厚を測定する方法です。

【メリット】
・SEMや触針式段差計と異なり、非接触で測定が可能。
・エリプソメーターに比べ、安価で使いやすい。

将来的に量産装置に取り付けることも可能です。

型式 AFW-100W
用途 一般膜厚用
装置構成 ユニット本体、測定スタンド、2分岐ファイバー(1.5m)、PC
測定波長範囲 380~1050nm
膜厚測定範囲 100nm~1μm(カーブフィッティング法)
1μm~60μm(FFT)
計測再現性 0.2%~1%(膜質依存による)
測定スポット径 約7mm
光源 12V-50W ハロゲン
測定理論 カーブフィッティング法 / FFT法
外形寸法 (mm) 測定スタンド:W150×D150×H115
本体    :W230×D230×H135
概算重量 5.5kg  ※PCを除く
ユーティリティ AC100V 50/60Hz
消耗品 ハロゲンランプ
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測定ワークサイズ

センサー直下からの最大奥行きサイズ(黄色矢印):126mm
8インチウエハーまで測定可能です。

詳細ステージ画面はこちら

顕微鏡式分光膜厚計

顕微鏡を用いる事で、従来では測定出来なかった凹凸のある電子部品や曲面レンズに対して測定することが可能になりました。

レンズの湾曲に対して 微小エリアを計測し散乱光を抑え測定を可能にします。 ウエハパターンや電子部品の凹凸に対して 微小エリアを計測し散乱光を抑え測定を可能にします。
名称 顕微鏡式分光膜厚計
装置構成 顕微鏡、ユニット本体、ファイバー(1m)、PC
顕微鏡 オリンパス社製金属顕微鏡
測定波長範囲 380~700nm
膜厚測定範囲 50nm~1.5μm(C/F)
1.5μm~50μm(FFT)
計測再現性 0.2%~1%(膜質依存による)
測定スポット径 Φ6μm~Φ120μm
光源 12V-100W ハロゲン
測定理論 カーブフィッティング法 / FFT法
外形寸法 (mm) 顕微鏡:W317.5×D602×H480
本体:W230×D230×H135
概算重量 25kg ※PCを除く
ユーティリティ AC100V 50/60Hz
消耗品 ハロゲンランプ