周辺装置

風防ボックス

• 簡易風防ボックス

  

• ガス置換型アクリルグローブボックス

  

• ガス置換型SUSグローブボックス

  

• 恒温恒湿制御付クリーンベンチ

  
  

ディップコーター用除振台

• UAX-0405AS / UMX-0405AS

  
  

液槽管理ユニット

• 循環ろ過ユニット

  

• 塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。

  処理タンク： ４面オーバーフロー方式（サブタンク付） タンクサイズ・フィルター精度・循環方式（Air, Chemical）・流量などお客様の仕様に合わせてカスタマイズ致します。

  粘度計（比重計）による濃度管理、熱交換器による液温管理も追加可能です。

タンク

SUSタンク / テフロンタンク / ガラスタンク

基板サイズに合わせたタンクをオーダーメードでお作りします。
材質：SUS・ガラス・テフロン・テフロンコート・パイレックス・石英　など

前処理装置

• UVオゾン洗浄表面改質装置