周辺装置

風防ボックス

  • 簡易風防ボックス

    簡易風防ボックス
  • ガス置換型アクリルグローブボックス

    ガス置換型アクリルグローブボックス
  • ガス置換型SUSグローブボックス

    ガス置換型SUSグローブボックス
  • 恒温恒湿制御付クリーンベンチ

    恒温恒湿制御付クリーンベンチ
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ディップコーター用除振台

  • UAX-0405AS / UMX-0405AS

    ディップコーター用除振台
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液槽管理ユニット

  • 循環ろ過ユニット

    簡易風防ボックス
  • 塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。

    処理タンク: 4面オーバーフロー方式(サブタンク付) タンクサイズ・フィルター精度・循環方式(Air, Chemical)・流量などお客様の仕様に合わせてカスタマイズ致します。

    粘度計(比重計)による濃度管理、熱交換器による液温管理も追加可能です。

タンク

SUSタンク / テフロンタンク / ガラスタンク

タンク見積り依頼書
SUSタンク / テフロンタンク

基板サイズに合わせたタンクをオーダーメードでお作りします。
材質:SUS・ガラス・テフロン・テフロンコート・パイレックス・石英 など

前処理装置

  • UVオゾン洗浄表面改質装置

    UVオゾン洗浄表面改質装置
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