離型処理の必要性

ナノインプリントリソグラフィ(NiL)向け離型剤コーティング

ナノインプリントリソグラフィ技術は、高集積LSIなど高度な微細パターンへの展開を期待されながら、精密金型との離型時に生じるクラックの発生などが、量産展開への妨げになってきました。

このような離型不良による破損を防ぐためには、精密金型(モールド)の表面エネルギーを低くすることにより、樹脂との接着力、摩擦を低下させることが一つの有効な手段です。

今後展開か期待される工業量産用途においては、金型の耐久性、離型性の持続力の課題があり、金型パターンへの離型剤コーティングが、重要になってきています。

主な離型剤コーティング方法としては、

ナノインプリントリソグラフィ イメージ

1) 蒸着
2) スピンコーティング
3) 含浸法

が挙げられます。

中でも含浸法は、量産性、装置のコスト、立体パターンへの追従性、大型ワークへの対応など、メリットがあります。

当社の含浸法装置は、過去の装置導入や離型剤受託コーティングを通じ、お客様のニーズに応じた離型剤コーティング装置をご提供いたします。